微流控芯片起源于MEMS（微机电系统）技术。近年来，高分子材料已成为芯片加工的主要材料。它品种多、价格低、绝缘性好、性能指标优良。它可以施加高电场，实现快速分离。加工成形方便，易于实现批量生产。
硅具有散热性好、强度高、价格适中、纯度高、耐腐蚀等优点。随着微电子技术的发展，硅材料的加工技术日趋成熟。硅材料首先用于生产这种产品。由于其良好的光洁度和成熟的加工工艺，可用于微泵、微阀、模具等器件。到目前为止，玻璃已经广泛应用于该芯片的生产中，采用光刻和蚀刻技术可以将微通道网络化在玻璃材料上，其优点是具有一定的强度，散热性、透光性和绝缘性都比较好，非常适合于通常的样品分析。
微流控芯片采用类似半导体的MEMS技术在芯片上构建微流控系统。将实验和分析过程转移到由互连通道和液室组成的芯片结构上。在装载生物样品和反应液后，使用微机械泵。
电液泵和电渗流驱动缓冲液在芯片内流动形成微流道，在芯片上进行一个或多个连续反应。激光诱导荧光（LIF）、电化学和化学检测系统以及与质谱联用的多种检测方法已被应用于流控芯片中，以实现对样品的快速、准确和高通量分析。
微反应器通常用于芯片实验室的生化反应，如毛细管电泳、聚合酶链反应、酶反应和DNA杂交等。其中，电压驱动毛细管电泳易于在微流控芯片上实现，已成为发展快的技术。在芯片上刻蚀毛细管通道，样品溶液在电渗流的作用下在通道中游动，完成样品的检测和分析。如果在芯片上构建毛细管阵列，可以在几分钟内完成数百个样品的并行分析。
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