微流控芯片虽然被冠以芯片之名,但其与传统的集成电路芯片相比,又有其区别和特点。 其早期是微系统通过微加工工艺,在不同材料的基片上加工出微米至亚毫米级的各种微结构单元,而后在微米尺度空间对流体进行操控,可以配合流体控制或分析仪器自动完成生物实验室中的提取、扩增、萃取、标记、分离、分析,或者细胞的培养、处理、分选、裂解、分离分析等过程。
与其他集成电路芯片相比,微流控芯片有两类芯片,一类是传统的,使用机密机加工、微注塑等手段制备的塑料片,这一类还是依赖外接各种供液管路、检测模块等外接辅助设备,并不是真的意义上的芯片;另外一类是硅基的,主要使用微纳加工工艺制备的集成了处理电路、液体驱动微系统结构、液相检测电极等一系列执行器和传感器的微流控芯片,摆脱外接辅助设备的限制,实现了片上集成微流控系统的功能。
从技术上看,传统芯片主要是利用电学系统来实现控制,而微流控芯片还包含了电学、流体、传感等一系列模块。它的微系统通常是用来处理液体的。具体来讲,就是在半导体上形成微流控,或者液体流通的一些微小通道,同时这个微通道要与微系统结构的可控电路紧密结合。简单来讲,微流控芯片是基于传统的集成电路芯片,又做了一些适用于液体处理的微系统。
微流控芯片是基于应用工艺的定制型特殊流道结构部件,其通道结构和尺寸均与项目工艺需求相结合,属定制型结构件。
技术参数:
流量范围(ml/min): 0.1~200
压力范围(MPa): 0-25
温度控制(℃): 4~100℃
流量设定误差%(ml/min): ≤±1%
流量重复性误差%(ml/min): ≤1%
压力脉动(MPa): ≤0.1
压力准确度(MPa): ≤0.1
芯片通道尺寸: 20um~3mm
微流控芯片是利用微加工技术由硅、玻璃、石英、有机聚合物和复合材料制成的,列举了制造中所用的各种材料及其优点:
材料 | 制备方法 | 优点 |
玻璃,石英 | 光刻、蚀刻技术 | 重复使用,具有良好透光性和电绝缘性 |
硅 | 蚀刻技术 | 工艺成熟,具有良好稳定性 |
聚二甲基硅氧烷 | 模塑技术 | 无毒、成本低、化学惰性高 |
光刻胶 | 光聚合 | 耐高温,可重复使用 |
聚甲基丙烯酸甲酯 | 激光烧蚀 | 制备简单,精度高 |
氟化乙烯丙烯 | 光刻 | 制备精度高,耐腐蚀 |
聚乙烯醇 | 光聚合 | 渗透性高,成本低 |
分析滤纸 | 印刷 | 成本低,方便携带 |